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蚀刻刀模的干法蚀刻电浆形成工艺有缺点吗?

来源:正亨实业 时间:2019-11-22 14:12:55

  正亨对于大家近期的提问,今天就为大家做出解答。就是关于蚀刻刀模的干法蚀刻电浆形成工艺有缺点吗?因为电浆的产生可藉由直流偏压或交流射频偏压下的电场形成,而在电浆中的电子来源通常有二。

  一为分子或原子解离后所产生的电子,另一则为离子撞击电极所产生的二次电子,在直流电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主,而交流射频电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。那么在蚀刻刀模电浆干法蚀刻中,以直流方式产生辉光放电的缺点包含:

  1、需要较高的功率消耗,也就是说产生的离子密度低;

  2、须要以离子撞击电极以产生二次电子,如此将会造成电极材料的损耗;

  3、所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

  以上就是正亨今天所述的全部内容了,如果大家还想要了解更多蚀刻刀模的相关技术知识,尽在官方网站,欢迎大家前来参观!感谢您的阅读与支持!
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